磁材用锆铁 镍铍合金丝 镍铬靶材镍铬旋转靶

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发展目标：

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金属溅射靶材：铒靶 Er? 4N 靶材；高纯金属材料：高纯锰 Mn 3N 丝、颗粒、靶材；金属蒸发颗粒：高纯钴 Co 4N 颗粒；陶瓷靶材：氧化钇 Y2O3 4N 靶材

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