铬铝合金粉 锆硅靶材合金粉 镍铜合金粉

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发展目标：

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陶瓷蒸发料：氧化物蒸发料：三氧化钨 WO3 3N 颗粒、粉末；稀土化合物：氧化铒 Er2O3 4N 颗粒、粉末；高纯金属材料：高纯锰 Mn 3N 丝、颗粒、靶材；合金溅射靶材：铁铬铝合金 Fe-Cr-Al 3N-5N 定制靶材

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